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李欣昕

作品数：8 被引量：11H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术更多>>

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领域

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地区

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共 16 条 记 录，以下是 1-10
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘文平
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 传感器件 干法刻蚀技术 电阻温度系数 退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
荣伟彬
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：激光陀螺 微操作 压电陶瓷 微操作机器人 柔性铰链
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王家畴
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅片 单晶硅 衬底 热电堆 热偶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙立宁
供职机构：苏州大学
研究主题：机器人 压电陶瓷 并联机器人 柔性铰链 微操作
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭南翔
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 悬臂梁 MEMS 压阻式加速度传感器 振动频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄树森
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 压阻式加速度传感器 深反应离子刻蚀 微机械技术 振动频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张鲲
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度传感器 微机械 压阻 加速度计 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄晖
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 深反应离子刻蚀 压阻 硅微机械 加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈雪萌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：压阻 微机械陀螺 加速度计 陀螺 深反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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