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李太平
作品数:
6
被引量:10
H指数:2
供职机构:
西北工业大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
虞益挺
西北工业大学机电学院空天微纳系...
燕斌
西北工业大学机电学院空天微纳系...
乔大勇
西北工业大学机电学院空天微纳系...
孙瑞康
西北工业大学机电学院空天微纳系...
苑伟政
西北工业大学机电学院空天微纳系...
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虞益挺
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 锚点 光纤
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燕斌
供职机构:西北工业大学
研究主题:扫描镜 刻蚀 微机电系统 锚点 微机械
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乔大勇
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 扫描镜 微机械 锚点
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孙瑞康
供职机构:西北工业大学
研究主题:SOI晶圆 微细加工 微机械 微机电系统 衍射特性
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苑伟政
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机械陀螺 锚点
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李晓莹
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微细加工 微变形镜
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梁庆
供职机构:西北工业大学
研究主题:牺牲层 微机电系统 残余应力 刻蚀速率 自激
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姜澄宇
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 剪应力 高深宽比 产品数据管理
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