您的位置: 专家智库 > >

领域

  • 8个电子电信
  • 7个机械工程
  • 7个自动化与计算...
  • 6个理学
  • 5个电气工程
  • 4个金属学及工艺
  • 4个航空宇航科学...
  • 4个一般工业技术
  • 3个交通运输工程
  • 2个化学工程
  • 2个动力工程及工...
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个文化科学
  • 1个经济管理
  • 1个生物学
  • 1个天文地球
  • 1个石油与天然气...
  • 1个医药卫生
  • 1个社会学
  • 1个军事

主题

  • 8个衍射
  • 8个微机电系统
  • 8个锚点
  • 8个机电系统
  • 7个掩膜
  • 6个掩膜版
  • 6个衍射特性
  • 5个弹性梁
  • 4个单片
  • 4个单片集成
  • 4个电磁
  • 4个电磁驱动
  • 4个电荷耦合
  • 4个电荷耦合器
  • 4个电荷耦合器件
  • 4个调制器
  • 3个氮化
  • 3个氮化硅
  • 3个导电
  • 3个等离子体

机构

  • 8个西北工业大学
  • 1个华中科技大学
  • 1个南京大学
  • 1个南京航空航天...
  • 1个黄陵矿业集团...
  • 1个南京航空学院

资助

  • 7个国家自然科学...
  • 6个教育部“新世...
  • 5个中国航空科学...
  • 4个国家高技术研...
  • 4个西安应用材料...
  • 3个国家教育部博...
  • 3个国家重大科学...
  • 3个陕西省自然科...
  • 3个西北工业大学...
  • 3个中航工业产学...
  • 3个中央高校基本...
  • 2个机械系统与振...
  • 1个国防基础科研...
  • 1个国防科技技术...
  • 1个江苏省自然科...
  • 1个宁波市自然科...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个中国科学院知...
  • 1个中国人民解放...

传媒

  • 8个传感技术学报
  • 7个光学学报
  • 7个光子学报
  • 6个纳米技术与精...
  • 5个机械工程学报
  • 5个光电工程
  • 5个航空精密制造...
  • 5个微纳电子技术
  • 4个西北工业大学...
  • 4个光学精密工程
  • 4个科学通报
  • 4个仪器仪表学报
  • 4个物理学报
  • 4个中国机械工程
  • 4个航空制造技术
  • 4个压电与声光
  • 4个科学技术与工...
  • 3个计量学报
  • 3个机械设计与制...
  • 3个系统仿真学报

地区

  • 8个陕西省
8 条 记 录,以下是 1-8
虞益挺
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 锚点 光纤
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
燕斌
供职机构:西北工业大学
研究主题:扫描镜 刻蚀 微机电系统 锚点 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
乔大勇
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 扫描镜 微机械 锚点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙瑞康
供职机构:西北工业大学
研究主题:SOI晶圆 微细加工 微机械 微机电系统 衍射特性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苑伟政
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机械陀螺 锚点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李晓莹
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微细加工 微变形镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁庆
供职机构:西北工业大学
研究主题:牺牲层 微机电系统 残余应力 刻蚀速率 自激
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姜澄宇
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 剪应力 高深宽比 产品数据管理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
聚类工具0