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李四华

作品数:45 被引量:44H指数:5
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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相关领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程一般工业技术更多>>

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吴亚明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉菲
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微电子机械系统 光学电流传感器 苯并环丁烯 高灵敏度 气密性封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐静
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机电系统 光学电流传感器 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘文平
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 传感器件 干法刻蚀技术 电阻温度系数 退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钟少龙
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 加速度传感器 键合 微机电系统 MEMS工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
万助军
供职机构:华中科技大学
研究主题:光纤准直器 光环行器 光纤阵列 端口 相位光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高翔
供职机构:浙江大学
研究主题:烟气 催化剂 选择性催化还原 烟气脱硫 太阳能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡燕明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:布喇格光栅 布喇格 波导光栅 集成光路 平面光波导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
翟雷应
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微光机电系统 静电驱动 微机电系统 大尺寸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨丹琼
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:差分 弹性梁 加速度传感器 电极 加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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