2024年12月26日
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李四华
作品数:
45
被引量:44
H指数:5
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
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一般工业技术
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合作作者
吴亚明
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘玉菲
中国科学院研究生院
徐静
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘文平
中国科学院研究生院
钟少龙
中国科学院上海微系统与信息技术...
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吴亚明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
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刘玉菲
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微电子机械系统 光学电流传感器 苯并环丁烯 高灵敏度 气密性封装
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徐静
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机电系统 光学电流传感器 加速度传感器
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刘文平
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 传感器件 干法刻蚀技术 电阻温度系数 退火
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钟少龙
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 加速度传感器 键合 微机电系统 MEMS工艺
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万助军
供职机构:华中科技大学
研究主题:光纤准直器 光环行器 光纤阵列 端口 相位光栅
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高翔
供职机构:浙江大学
研究主题:烟气 催化剂 选择性催化还原 烟气脱硫 太阳能
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蔡燕明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:布喇格光栅 布喇格 波导光栅 集成光路 平面光波导
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翟雷应
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微光机电系统 静电驱动 微机电系统 大尺寸
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所获资助
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杨丹琼
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:差分 弹性梁 加速度传感器 电极 加速度计
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