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曹福年
作品数:
8
被引量:14
H指数:3
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
惠峰
中国科学院半导体研究所
卜俊鹏
中国科学院半导体研究所
吴让元
中国科学院半导体研究所
何宏家
中国科学院半导体研究所
白玉珂
中国科学院半导体研究所
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卜俊鹏
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 GAAS 抛光晶片 抛光 亚表面损伤层
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惠峰
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 抛光晶片 GAAS SI-GAAS 晶片
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吴让元
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 SI-GAAS GAAS 化学机械抛光 抛光
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何宏家
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 GAAS SI-GAAS 半绝缘 GAAS单晶
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刘明焦
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:SI-GAAS X射线 亚表面损伤层 抛光晶片 亚表面
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供职机构
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白玉珂
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:亚表面损伤层 SI-GAAS GAAS 单晶炉 X射线
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郑红军
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:抛光晶片 GAAS 砷化镓 抛光 亚表面损伤层
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供职机构
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刘巽琅
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:磷化铟 溴 单晶片 抛光 INP单晶
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供职机构
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白玉柯
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:化学腐蚀 均匀性 GAAS 晶片 磨片
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
杨锡权
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:EL2 砷化镓 热稳定性 SI-GAAS 费米能级
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