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孙彬
作品数:
3
被引量:11
H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
徐品烈
中国电子科技集团公司第四十五研...
王海明
中国电子科技集团公司第四十五研...
郝靖
中国电子科技集团公司第四十五研...
种宝春
中国电子科技集团公司第四十五研...
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徐品烈
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:晶片 运动控制技术 粘片机 银 硅太阳能电池
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种宝春
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:多线切割机 CMP 化学机械抛光 砂浆 动态特性
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研究领域
郝靖
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:集成电路制造 主成分分析
发表作品
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王海明
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 集成电路制造 主成分分析 粗糙度
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