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张培文

作品数:40 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术电气工程金属学及工艺更多>>

领域

  • 35个电子电信
  • 34个自动化与计算...
  • 23个理学
  • 16个一般工业技术
  • 15个电气工程
  • 15个文化科学
  • 12个机械工程
  • 12个交通运输工程
  • 11个化学工程
  • 11个金属学及工艺
  • 10个医药卫生
  • 7个建筑科学
  • 6个经济管理
  • 5个轻工技术与工...
  • 4个矿业工程
  • 4个航空宇航科学...
  • 4个核科学技术
  • 3个天文地球
  • 3个环境科学与工...
  • 2个动力工程及工...

主题

  • 36个纳米
  • 36个光刻
  • 34个光刻胶
  • 33个电极
  • 31个金属
  • 30个衬底
  • 29个电子束光刻
  • 29个刻蚀
  • 27个感器
  • 27个传感
  • 27个传感器
  • 26个电路
  • 26个微电子
  • 24个退火
  • 23个电子束曝光
  • 20个信号
  • 19个电子束
  • 18个氮化
  • 18个电流
  • 15个导电

机构

  • 40个中国科学院微...
  • 5个中国科学院微...
  • 3个中国科学院
  • 2个北京大学
  • 2个南京大学
  • 2个兰州大学
  • 1个安徽大学
  • 1个复旦大学
  • 1个北京科技大学
  • 1个湖南大学
  • 1个北京工业大学
  • 1个北京航空航天...
  • 1个河北大学
  • 1个青岛科技大学
  • 1个清华大学
  • 1个西安理工大学
  • 1个华南理工大学
  • 1个天津大学
  • 1个浙江大学
  • 1个中国科学技术...

资助

  • 27个国家自然科学...
  • 21个国家高技术研...
  • 20个国家重点基础...
  • 11个国家科技重大...
  • 9个中国科学院战...
  • 5个北京市科委项...
  • 5个中国科学院知...
  • 4个应用光学国家...
  • 4个中国科学院“...
  • 4个中国科学院知...
  • 3个基础研究重大...
  • 3个江苏省自然科...
  • 3个国家杰出青年...
  • 3个中国科学院微...
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  • 2个北京市科技新...
  • 2个北京市自然科...
  • 2个国家科技攻关...
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  • 2个北京市科技计...

传媒

  • 18个微纳电子技术
  • 10个半导体技术
  • 10个物理学报
  • 10个微电子学
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  • 9个科学通报
  • 9个物理
  • 9个微细加工技术
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  • 6个光学学报
  • 5个光学精密工程
  • 5个太阳能
  • 5个太阳能学报
  • 5个核技术
  • 5个电子器件

地区

  • 39个北京市
  • 1个安徽省
40 条 记 录,以下是 1-10
刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电极 衬底 突触 铁磁 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 光刻 存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵盛杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 光刻胶 金属氧化物 纳米级 牺牲层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
路程
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 磁隧道结 降低功耗 纳米级 牺牲层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张凯平
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:掩模 光刻胶 纳米级 牺牲层 图形化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李维龙
供职机构:华东电子工程研究所
研究主题:微电子工艺 浮栅 纳米晶 单电子器件 蒸发
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾锐
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:太阳能电池 太阳电池 背接触 探测器 N型
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱晨昕
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 浮栅 扩散炉 金属纳米晶 多值
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈晨
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:太阳能电池 太阳电池 硅太阳能电池 硅电池 微电子工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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