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冯彬
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中国科学院
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一般工业技术
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合作作者
佟辉
中国科学院
郭东民
中国科学院
刘丽华
中国科学院
鲁向群
中国科学院
戚晖
中国科学院
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佟辉
供职机构:中国科学院
研究主题:真空设备 磁控 法兰 籽晶 磁控溅射
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郭东民
供职机构:中国科学院
研究主题:真空设备 磁控 籽晶 卷烟 法兰
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刘丽华
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研究主题:磁控 镀膜设备 磁控溅射靶 磁控溅射 法兰
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戚晖
供职机构:中国科学院
研究主题:磁控溅射 磁控 控制程序 镀膜设备 法兰
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鲁向群
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研究主题:磁控溅射靶 溅射 磁控 离子束 离子枪
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刘大为
供职机构:中国科学院
研究主题:磁控 磁控溅射靶 溅射 离子束 离子枪
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周景玉
供职机构:中国科学院
研究主题:磁控溅射 磁控 镀膜设备 法兰 基片
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研究主题:涡轮分子泵 抽气装置 机械泵 离子枪 线列
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潘福全
供职机构:中国科学院
研究主题:涡轮分子泵 抽气装置 机械泵 离子枪 线列
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金振奎
供职机构:中国科学院
研究主题:溅射 离子枪 磁控溅射靶 磁控 离子束
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