张辉
- 作品数：6 被引量：0H指数：0
- 供职机构：南京大学物理学院声学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
- 温度补偿模式下具有高灵敏度和高分辨率的声波传感器
- 2013年
- 0引言近年来,基于薄膜体声波传感器(FBAR)的器件备受关注,并开始广泛应用于无线通讯领域和生物组织探测领域[1]。与已经投入广泛应用的石英晶体传感器(QCM)不同的是,现代的工艺能让FBAR设计得很薄(<1μm),更薄的FBAR能得到更高的共振频率(>1 GHz)从而得到更高的传感灵敏度[2-3]。相关研究表明。
- 蒋国珠张辉刘朝群张淑仪范理
- 关键词：温度补偿石英晶体传感器压电薄膜高分辨率传感器件氮化铝
- 以SiC为基底的高阶模Lamb波传感器研究
- 目的 由于超声波传感器的工作需要极高的灵敏度和稳定度,其性能优化一直是研究的重点之一。虽然超声波传感器可以工作在Rayleigh,Lamb,SH,Love等各种波形模式下,但各种传感器的性能各有高低,难以实现所有性能参数...
- 陈喆范理张淑仪张辉
- 关键词：SICLAMB波
- 温度补偿模式下具有高灵敏度和高分辨率的声波传感器
- 本文设计了复合结构的体声波传感器，当设置Si基底为17μm和SiO2补偿层厚度为6.5μm时，能在常温下达到基本完全的温度补偿，并且获得较大的Q值和较高的灵敏度。这样，设计了一个不随温度变化而影响性能的高分辨率高灵敏度传...
- 蒋国珠张辉刘朝群张淑仪范理
- 关键词：传感性能
- 温度补偿模式下具有高灵敏度和高分辨率的声波传感器
- <正>0引言近年来,基于薄膜体声波传感器(FBAR)的器件备受关注,并开始广泛应用于无线通讯领域和生物组织探测领域~([1])。与已经投入广泛应用的石英晶体传感器(QCM)不同的是,现代的工艺能让FBAR设计得很薄(<1...
- 蒋国珠张辉刘朝群张淑仪范理
- 文献传递
- 基于薄膜腔体结构的低频隔声研究
- <正>0引言当声波在管道中传输时,由于管道的有限空间会产生谐振现象,这使得管道中的隔声与消声成为声学研究中及其重要的一环。近年来,基于谐振腔或薄膜的声学人工材料被应用于管道吸声与隔声中[1-3]。本文设计了一种以薄膜作为...
- 于伟维范理张辉张淑仪
- 关键词：谐振结构
- 文献传递
- 基于ZnO/SiC结构的Lamb波传感器研究
- 2015年
- 由于超声波传感器的工作需要极高的灵敏度和稳定度,其性能优化一直是研究的重点之一。本文采用传递矩阵法计算了基于Zn O/Si C结构的Lamb波传感器的各项性能,包括机电耦合系数,插入损耗,灵敏度以及较小的最小检测域。根据模拟结果,对Lamb波传感器的以上性能参数进行了优化,得到了优化工作条件。研究发现,Lamb波多模特性为这种传感器的性能优化提供了丰富的选择性,选择不同的模式,可以对各项性能参数进行不同目的的优化。研究结果对研制高性能的Lamb波超声传感器具有理论指导作用。
- 陈喆范理张淑仪张辉
- 关键词：碳化硅
