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基于MIL-STD-1553B总线的远程终端模块测试方法: 2013年; 简单介绍了MIL-STD-1553B总线以及总线控制器(BC)和远程终端(RT)的配置过程,采用成都恩菲特的1 553芯片EP-H31 580实现1 553B这两种功能的配置,并用示波器对输出进行测量分析。另外,针对实际工程中,某些装置只需实现远程终端(RT)功能,设计了一种闭环测试的方法,在不依靠其他设备的情况下进行验证远程终端(RT)设计的正确性。; 程惠王强张伟; 关键词：BC 闭环测试

基于氮化铝薄膜的压电水听器的研制被引量：3: 2020年; 为将氮化铝(AlN)的压电特性与微电子机械系统(microelectro mechonical system,MEMS)的微加工技术相结合,研制基于AlN压电薄膜结构的单电极水听器。通过采用COMSOL仿真方法研究了器件在20~100 Hz低频范围内谐振特性,结果表明压电薄膜优化厚度0.8~1.0μm,振动薄膜直径100μm。给出了器件制备工艺流程,采用感应耦合等离子体(inductively coupled plasma,ICP)精准刻蚀A1N薄膜提高成品率,并对实际样品进行高静水压等环境适应性测试。单个水听器阵列结构是40×40,实际尺寸为7 mm×7 mm,可见AlN薄膜可以用来制备高性能的水听器集成系统。; 赵龙刘铮王强薛晨阳; 关键词：水听器 ICP刻蚀阵列结构

基于单晶AlN薄膜的干法刻蚀和湿法腐蚀被引量：1: 2020年; 采用干法刻蚀和湿法腐蚀工艺刻蚀单晶〈002〉晶向AlN薄膜。干法刻蚀中采用电感耦合等离子体(ICP)设备在不同功率和腔压等工艺参数以及不同气体体积流量下刻蚀单晶〈002〉晶向AlN薄膜,通过比较几种刻蚀结果得出在ICP射频(RF)功率为100 W、ICP线圈功率为500 W、偏置电压为-400^-100 V、腔内压强为4 mTorr(1 Torr=133 Pa)以及BCl3、Cl2和Ar的体积流量分别为50、70和30 cm^3/min的工艺参数下刻蚀单晶〈002〉晶向AlN薄膜,得到刻蚀速率均匀及侧壁垂直度较好的刻蚀形貌,采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)测试刻蚀后AlN薄膜的平均表面粗糙度(≤20 nm)良好。湿法腐蚀中采用质量分数为10%的KOH溶液在不同温度下腐蚀AlN薄膜,得出刻蚀速率随着温度的升高而增加,腐蚀速率均匀性一般,平均表面粗糙度(<150 nm)也较差。通过比较两种工艺得出干法刻蚀更适合AlN薄膜的图案化。; 赵龙王强王强; 关键词：ALN 刻蚀

基于FPGA的多通道数据采集电路的设计及实现被引量：19: 2013年; 介绍了一个基于FPGA的多通道信号采集电路。该电路以FPGA芯片XC3S400作为电路的主控制器,采用电子开关ADG708对7路信号进行了循环采集,使用AD7667作为模数转换器,由主控制器FPGA控制,将采集到的模拟信号转换为数字信号。然后,通过单片机CY7C68013与上位机通信,将采集到的信号通过上位机软件读出并画图显示。通过试验已验证了该采集电路的功能的有效性。; 程惠任勇峰王强王强; 关键词：FPGA 信号采集模数转换

基于SOI的压电薄膜式水听器被引量：2: 2020年; 针对目前压阻式水听器在工作时需要外加电源、对温度敏感以及制造过程复杂的问题,提出了一种以AlN为压电材料的压电薄膜式水听器。该水听器由带有上下电极的压电薄膜以及绝缘体上硅(SOI)衬底组成。根据理论计算和有限元仿真分析对水听器的结构参数进行了优化以满足其对水下低频声信号的探测需求,并对所设计的水听器进行了微纳尺度下的一体化加工。对所制造的水听器进行了形貌测试,并用激光多普勒测振仪测试了水听器的谐振频率,实验测得的谐振频率为0.516 MHz,与理论计算值0.531 MHz非常接近,验证了理论分析的正确性,为压电水听器的研究与应用提供了一定的参考价值。; 王强杨婷婷赵龙薛小斌臧俊斌张增星薛晨阳; 关键词：ALN

电源纹波的测量及抑制被引量：19: 2012年; 介绍了电源纹波电压和纹波系数的概念。提出三种降低电源纹波的方法,通过一组实验得到三种方法的滤波效果,并总结了它们的优缺点。通过比较得出,在电路板大小允许的情况下,使用共模扼流圈可以有效降低电源纹波。; 程惠任勇峰王强; 关键词：电源纹波纹波系数滤波共模扼流圈

基于AlN的压电MEMS超声换能器阵列被引量：3: 2022年; 针对目前超声换能器机电耦合系数较低的问题,本文设计了一种以氮化铝(AlN)为压电材料的微机电系统(MEMS)超声换能器阵列以提高机电耦合系数。在COMSOL Multiphysics中用模态分析确定了超声换能器工作在一阶模态下有最大的声场输出,并给出了其声场传播示意图。通过对超声换能器在工作状态时的应力分析,计算出当上电极半径为空腔半径的70%时,超声换能器有最大的发射声场效率。用网络分析仪对超声换能器的阻抗曲线进行测量,从中推导出其机电耦合系数为1.6%,展现出良好的工程应用前景。; 王强杨婷婷薛小斌臧俊斌张增星薛晨阳; 关键词：压电超声换能器模态分析应力分析阻抗测试

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王强