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王毅勃

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司更多>>
相关领域：环境科学与工程建筑科学天文地球更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 2篇会议论文
  • 1篇标准

领域

  • 1篇天文地球
  • 1篇建筑科学
  • 1篇环境科学与工...

主题

  • 2篇还原炉
  • 1篇电路
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇叶片式
  • 1篇英寸
  • 1篇水蒸气
  • 1篇碳棒
  • 1篇炭黑
  • 1篇炭黑生产
  • 1篇体外
  • 1篇湍流
  • 1篇湍流发生器
  • 1篇喷头
  • 1篇气相法
  • 1篇脱酸
  • 1篇污染
  • 1篇污染控制
  • 1篇物料
  • 1篇芯片工厂

机构

  • 6篇信息产业电子...
  • 1篇信息产业部
  • 1篇中国电子工程...
  • 1篇中芯国际集成...
  • 1篇微电子有限公...

作者

  • 6篇王毅勃
  • 3篇王明云
  • 3篇赵振元
  • 3篇江元升
  • 3篇罗明树
  • 3篇刘胜春
  • 3篇蒋玉梅
  • 1篇王唯国

传媒

  • 2篇第十八届国际...

年份

  • 1篇2012
  • 3篇2011
  • 2篇2006
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
硅集成电路芯片工厂设计规范
本规范适用于新建、改建和扩建的硅集成电路芯片工厂的工程设计。
王毅勃王明云李　骥肖劲戈江元升黄华敬何　武夏双兵陆　崎谢志雯朱　琳刘　娟刘序忠高艳敏朱海英徐小诚刘姗宏
关键词：集成电路CHIPSWORKS
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多晶硅还原炉
一种多晶硅还原炉，包括置于还原炉底板上的还原炉内体，其中：所述还原炉内体外由内向外依次设置有夹套D、夹套C、夹套B和夹套A，夹套D与夹套C之间、夹套C与夹套B之间、夹套B与夹套A之间分别构成相应的冷却水通道，且夹套D与夹...
赵振元罗明树刘胜春王明云江元升蒋玉梅王毅勃
文献传递
一种气相法白炭黑生产用脱酸炉
一种气相法白炭黑生产用脱酸炉，包括脱酸炉加热段和脱酸炉混合段，其中，脱酸炉混合段设置有物料入口和水蒸气入口，脱酸炉混合段还设有一中空且锥面上密布通孔的旋流锥，所述旋流锥置于水蒸气入口上方。本实用新型构思新颖结构简单，设置...
赵振元罗明树刘胜春王明云江元升蒋玉梅王毅勃
文献传递
关于空气分子污染(AMC)控制计算的探讨
针对洁净室几种空气循环方式及化学过滤器的设置,建立气流流程,导出稳定条件下有关空气分子污染(AMC)控制计算公式.通过计算帮助设计人员寻求优化的方案.
王毅勃王唯国
关键词：污染控制风量计算
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12英寸晶圆生产厂设计探讨
概要介绍12英寸晶圆生产线发展情况、技术要求、AMC控制、洁净度等级、空间管理以及某些在设计中比较关注的问题,诸如消防、安全、环保、节能,等.
王毅勃
关键词：空间管理
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多晶硅还原炉
本实用新型公开了一种多晶硅还原炉，包括有炉罩、底盘、加热碳棒、进料管和出料管，其中，炉罩安装在底盘上，底盘上安装有至少三组的加热碳棒，炉罩内还设有进料管相连通的喷头，且喷头至少为三个呈并列分布在进料管上，所述喷头末端安装...
赵振元罗明树刘胜春王明云江元升蒋玉梅王毅勃
文献传递
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