袁卫民
- 作品数：1 被引量：4H指数：1
- 供职机构：东南大学电子科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 静电驱动的亚微米悬臂梁谐振器非线性特性被引量：4
- 2011年
- 理论分析了亚微米尺寸的悬臂梁结构的非线性力学模型,研究了非线性产生的物理机制。采用外部静电激励机制,使悬臂梁谐振器产生谐振,借助Polytec激光多普勒测振系统检测了悬臂梁的频率响应曲线。测试结果表明,悬臂梁具有显著的非线性效应(即"弹簧变软"效应)。实验证实了这种非线性效应几乎和交流电压无关,却随着直流电压的增大而显著增大,最大峰值偏移达到0.5MHz。提取出3组一阶机械弹性系数分别为79.62,31.75和14.92N/m,实验结果符合理论规律。对实验中的偏差做了进一步的分析和讨论,利用软件ANSYS对过腐蚀对结构刚度和频率响应的影响做了相应的模拟,结果和实验测量数据相吻合。
- 岳东旭于虹袁卫民
- 关键词：静电驱动非线性频率响应
