耿东锋
- 作品数：7 被引量：6H指数：1
- 供职机构：中国航空工业集团公司中国空空导弹研究院更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 一种多台阶微透镜制作方法以及光学元件台阶制作方法
- 本发明涉及一种多台阶微透镜制作方法以及光学元件台阶制作方法，该方法通过仅有的一次掩膜光刻形成微透镜最内层环带，然后通过负性光刻胶背面曝光显影用作掩膜层，再经腐蚀、背面曝光显影，刻蚀形成基底的图形，然后进行循环得到按次序从...
- 侯治锦司俊杰韩德宽陈洪许吕衍秋丁嘉欣张向锋姚官生王理文杨雪峰耿东锋
- 文献传递
- 一种抑制针式整流罩杂散光的光学薄膜
- 本发明公开了一种抑制针式整流罩杂散光的光学薄膜，属于战术导弹的红外整流罩技术。本发明的光学薄膜镀制在针式整流罩的凹面中心位置，其镀制区域的直径d2大于针与整流罩连接处的直径d1；在工作波段范围内，该光学薄膜与整流罩接触的...
- 孙维国陈洪许耿东锋
- 一种多台阶微透镜制作方法以及光学元件台阶制作方法
- 本发明涉及一种多台阶微透镜制作方法以及光学元件台阶制作方法，该方法通过仅有的一次掩膜光刻形成微透镜最内层环带，然后通过负性光刻胶背面曝光显影用作掩膜层，再经腐蚀、背面曝光显影，刻蚀形成基底的图形，然后进行循环得到按次序从...
- 侯治锦司俊杰韩德宽陈洪许吕衍秋丁嘉欣张向锋姚官生王理文杨雪峰耿东锋
- 文献传递
- 透明台阶的白光干涉测量方法研究被引量：5
- 2013年
- Veeco NT3300表面轮廓仪是基于白光干涉原理的一种非接触测量设备,它的垂直扫描干涉模式可以实现对物体表面形貌的非接触测量。在利用垂直扫描干涉模式对光刻胶形成的透明台阶测量时,设置不同的测量参数会导致较大的测量误差,通过对垂直扫描干涉模式的原理和测量系统的分析,找到了误差产生的原因,并通过合理的测量参数的设置,实现了对透明台阶的准确测量,满足了应用需求。
- 耿东锋何英杰何英杰
- 一种制冷型太赫兹/红外叠层探测器
- 本发明涉及一种制冷型太赫兹/红外叠层探测器，由微带天线、探测器元件和读出电路构成，所述微带天线由处于绝缘介质基片上面的导电薄膜贴片和金属馈线，以及处于绝缘介质基片下面的导电薄膜接地板构成，微带天线的导电薄膜接地板通过粘合...
- 朱旭波张亮王雯李墨耿东锋孙维国赵方园范永玲
- 文献传递
- 一种制冷型太赫兹/红外叠层探测器
- 本发明涉及一种制冷型太赫兹/红外叠层探测器，由微带天线、探测器元件和读出电路构成，所述微带天线由处于绝缘介质基片上面的导电薄膜贴片和金属馈线，以及处于绝缘介质基片下面的导电薄膜接地板构成，微带天线的导电薄膜接地板通过粘合...
- 朱旭波张亮王雯李墨耿东锋孙维国赵方园范永玲
- 文献传递
- InSb焦平面器件表面末处理技术研究被引量：1
- 2011年
- InSb焦平面器件经过减薄后,表面有细微的划痕,且存在一定厚度的损伤层,影响芯片性能。通过对InSb焦平面器件表面末处理工艺方法的探索,确定了器件抛光后,去除表面损伤层和表面溅射ZnS抗反射膜的工艺实施方案,有效地改善了器件的表面质量,提高了焦平面器件的性能。
- 耿东锋王海珍李明华郑克霖
- 关键词：焦平面器件抗反射膜
