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金鹤

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：湖南大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇电子束蒸发
  • 1篇防静电
  • 1篇ITO
  • 1篇玻璃盖板
  • 1篇超薄

机构

  • 1篇湖南大学

作者

  • 1篇周灵平
  • 1篇李德意
  • 1篇朱家俊
  • 1篇符立才
  • 1篇金鹤

传媒

  • 1篇材料导报

年份

  • 1篇2017
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
空间太阳电池玻璃盖板表面超薄ITO防静电层的设计及制备工艺
2017年
ITO/MgF2复合薄膜既具有较好的表面导电性能又具有较高的透过率,可应用于空间太阳电池玻璃盖板表面。文章主要对ITO/MgF2复合薄膜中表层的超薄ITO薄膜进行了研究。利用TFCalc软件模拟了ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光学性能的影响,根据模拟结果采用电子束蒸发法在衬底上依次沉积MgF2薄膜和氧化铟锡(ITO)薄膜,研究了ITO薄膜工艺参数(沉积速率、沉积温度和工作气压)和ITO薄膜厚度对ITO/MgF2复合薄膜光电性能及微观结构的影响。当ITO薄膜沉积速率为0.05nm/s、沉积温度为400℃、工作气压为2.3×10^(-2) Pa、厚度为10nm时,表层ITO薄膜基本连续,其方块电阻(1.94kΩ/)已符合设计需求,ITO/MgF2复合薄膜在可见光区间(400~800nm)的平均透过率达到89.00%。
金鹤周灵平朱家俊符立才杨武霖李德意
关键词：防静电电子束蒸发玻璃盖板
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