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刘丽
作品数:
1
被引量:8
H指数:1
供职机构:
沈阳职业技术学院
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
机械工程
金属学及工艺
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合作作者
李静
沈阳职业技术学院
陈睿
沈阳新松机器人自动化股份有限公...
李学威
沈阳新松机器人自动化股份有限公...
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组合机床与自...
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2017
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300mm IC的自动物料搬运系统电气控制系统设计与实现
被引量:8
2017年
在集成电路(Integrated Circuit,IC)制造行业中,自动物料搬运系统(Automatic Material Handling System,AMHS)有效地提高了生产速度、缩短了生产周期,因此设计AMHS具有重要意义。文章分析了AMHS控制功能要求,确定了电气控制总体方案,进行了系统供配电方案设计,尤其是非接触供电,设计了关键设备的电气控制系统方案。通过分析实际装置的技术指标,表明所设计的300mm AMHS满足要求。
刘丽
李学威
陈睿
李静
关键词:
非接触供电
电气设计
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