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王晋伟
作品数:
1
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供职机构:
天津工业大学材料科学与工程学院
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发文基金:
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相关领域:
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刘俊成
天津工业大学材料科学与工程学院
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2017
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GaSb和GaInSb晶体制备工艺研究进展
2017年
介绍了GaSb单晶的制备方法,包括提拉(CZ)法、垂直布里奇曼(VB)法、水平布里奇曼(HB)法、垂直定向凝固(VDS)法和垂直梯度冷凝(VGF)法,总结了它们的优缺点。研究结果表明,VB法、VDS法和VGF法更适合GaSb单晶的生长。进一步介绍了三元合金GaInSb晶体生长工艺的研究进展,微重力环境可以有效抑制晶体中In元素的成分偏析,提高晶体的均匀性。简单介绍了GaSb单晶材料在器件制作方面的应用,展望了GaInSb晶体材料的发展前景。
王晋伟
刘俊成
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