您的位置: 专家智库 > >

马健

作品数:1 被引量:4H指数:1
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金:国家科技重大专项更多>>
相关领域:理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇测量方法
  • 1篇差分

机构

  • 1篇中国科学院上...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 1篇胡小邦
  • 1篇黄惠杰
  • 1篇张方
  • 1篇杨宝喜
  • 1篇金超群
  • 1篇马健

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2017
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
低相干光干涉高精度透镜中心厚度的测量方法被引量:4
2017年
阐述了一种基于低相干光干涉技术的透镜中心厚度的测量方法,并设计了腔式测量结构对未知折射率的材料进行中心厚度测量。测量系统为包括低相干测量和激光测距的全光纤结构。低相干测量结构参考臂和激光测距结构参考臂的共光路设计降低了环境因素的影响,提高了测量稳定性,并利用七步相移法实现对干涉信号的定位和提取。另外,利用低相干测量方法中的平衡差分结构去除了干涉信号中的直流项,同时提高了弱信号的定位精度。实验结果表明,该腔式测量结构对殷瓦合金标准块的测量精度优于0.5μm,该系统能够实现对透镜中心厚度的高精度测量,满足高精密光学系统的测量要求。
金超群杨宝喜胡小邦张方马健黄惠杰
共1页<1>
聚类工具0