李创
- 作品数：1 被引量：7H指数：1
- 供职机构：西北工业大学材料学院更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 离子束辅助反应电子束蒸发TiO_2薄膜的结构和光学性能被引量：7
- 2007年
- TiO2具有较高的折射率和介电常数,在光学和电子学方面有着广泛的应用。本论文采用离子束辅助反应电子束真空蒸镀法,以Ti为膜料,纯度为99.99%的O2为反应气体,通过电子束蒸发,在玻璃衬底上反应生成TiO2薄膜。使用XRD、SEM分别对50℃1、50℃、300℃三个不同衬底温度下沉积的薄膜及其经过450℃真空退火1h后的结构进行了分析,对薄膜的折射率、透射率进行了测量。结果表明,与传统的电子束蒸发相比,离子束辅助电子束蒸发可以增加成膜原子的能量,使沉积的薄膜结构致密,所制备的薄膜具有较高的折射率,并且薄膜在可见光范围内具有良好的透过性能。
- 杨陈樊慧庆李创陈晋
- 关键词：TIO2薄膜电子束蒸发光学性质
