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洪庆
作品数:
1
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供职机构:
嘉兴学院机电工程学院
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发文基金:
国家级大学生创新创业训练计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
吴伟鸿
嘉兴学院机电工程学院
陶旭东
嘉兴学院机电工程学院
王慧
嘉兴学院机电工程学院
胡慧
嘉兴学院机电工程学院
金清
嘉兴学院机电工程学院
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1篇
2015
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快速冷热循环仪的研制
2015年
本文设计了一种快速冷热循环仪,可以实现对金属薄膜材料快速变温的控制,用于研究温度变化对薄膜的影响以改善集成电路的可靠性。该仪器包括升降位移机构、运动控制系统和水冷系统及加热系统等。通过计算机控制伺服电机以驱动移动装置快速上升和下降,从而使加热系统靠近及远离金属薄膜材料,使其迅速变温达到设定温度,通过冷却循环系统达到辅助降温的目的。该方法实现了对温度、时间、循环次数的控制,既可以迅速升温,快速给金属材料加热,又通过冷却液的循环加快降温速率。
胡慧
金清
王慧
董阳
吴伟鸿
虞栋伟
陶旭东
洪庆
鹿业波
关键词:
金属薄膜
温度控制
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