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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇核科学技术

主题

  • 1篇离子注入

机构

  • 1篇复旦大学
  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 1篇杜光天
  • 1篇邹亚明
  • 1篇郭盘林
  • 1篇朱丹峰
  • 1篇朱希恺
  • 1篇朱周侠
  • 1篇傅云清
  • 1篇胡伟

传媒

  • 1篇核技术

年份

  • 1篇2008
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
用于EBIT装置的小型MEVVA源及其离子注入实验
2008年
为给上海电子束离子阱(Electron Beam Ion Traps,EBIT)装置提供低电荷离子,我们研制了小型金属蒸汽真空弧(Metal Vapor Vacuum Arc,MEVVA)离子源,可产生多种金属以及半导体材料的低电荷离子。本文介绍小型MEVVA离子源的特性及其在上海EBIT装置上的离子注入实验。实验结果显示,合理控制注入参数可以使注入并被束缚在EBIT中的离子数密度达到10^8~10^9/cm^3。
朱丹峰杜光天郭盘林朱周侠朱希恺傅云清胡伟邹亚明
关键词:离子注入
共1页<1>
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