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金超花
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
同济大学机械与能源工程学院
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发文基金:
亚热带建筑科学国家重点实验室开放基金
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
朱彤
同济大学机械与能源工程学院
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机构
2篇
同济大学
作者
2篇
朱彤
2篇
金超花
传媒
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人工晶体学报
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1篇
2015
1篇
2014
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Cz法单晶硅生长过程功率及流体流动的实验研究与数值模拟
被引量:1
2014年
本文建立了一个二维全局模型对120 KG单晶硅炉的热系统进行了数值模拟。通过对温场的单独模拟以及温场流场的耦合模拟得到了不同模型下晶体生长所需要的功率,并将两组模拟值与实验数据进行对比得到了加入流体流动后系统所产生的功率损耗。同时对晶体生长过程的分阶段模拟得到了晶体生长过程热系统温度分布的变化规律以及熔体流动的变化规律。结果显示,在整个晶体生长过程中流体流动所产生的功率损耗占实际功率的21.6%左右。
金超花
朱彤
关键词:
数值模拟
流体流动
旋转对Cz法硅晶生长过程中热输运和熔体流动影响的数值模拟
被引量:1
2015年
建立了一个120 kg单晶炉的二维轴对称全局模型,分别对无旋转、加入晶体旋转、加入坩埚旋转、同时加入晶体旋转和坩埚旋转的四种工况展开了数值模拟研究。得到了晶体旋转及坩埚旋转对晶体生长过程的拉晶功率、炉内温度分布和熔体流动的影响;得到了不同晶体长度下拉晶炉内的温度分布以及熔体流动的变化规律。结果显示,加入晶体旋转对晶体生长过程的拉晶功率、温度分布和熔体流动的影响小于坩埚旋转的影响;随着晶体长度的增加,晶体旋转及坩埚旋转对温度分布和熔体流动的影响不断减小。因此在单晶炉设计和优化过程中应考虑整个晶体生长过程。
金超花
朱彤
关键词:
硅晶
数值模拟
温度分布
熔体流动
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