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刘子贻
作品数:
1
被引量:8
H指数:1
供职机构:
重庆邮电大学光电工程学院
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发文基金:
重庆市教育委员会科学技术研究项目
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相关领域:
电子电信
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合作作者
江莎
重庆邮电大学数理学院
刘素芳
郑州铁路职业技术学院信息工程系
李丽
重庆邮电大学数理学院
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李丽
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江莎
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刘子贻
传媒
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重庆邮电大学...
年份
1篇
2009
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AZO薄膜的光学性质研究
被引量:8
2009年
采用直流反应磁控溅射法,用Zn(99.99%)掺Al(1.5%)靶制备出高质量的Al掺杂的ZnO(AZO)薄膜,用紫外可见、红外分光光度计等测试手段对沉积的薄膜进行了表征和分析,并对AZO薄膜的折射率和厚度进行了理论分析。薄膜的光谱分析结果表明:薄膜样品的可见光透射率平均值均在80%以上。AZO薄膜在紫外有很强的吸收峰,在红外区域,其反射率可达70%。通过理论计算得出了AZO薄膜样品的厚度为101 nm,与台阶仪测量的结果基本相符。
李丽
刘素芳
江莎
刘子贻
关键词:
AZO薄膜
光学性质
透射光谱
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