刘晓伟
- 作品数：3 被引量：8H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 化学腐蚀对超薄锗片机械强度的影响
- 2011年
- 随着锗太阳能光伏产业的发展,锗抛光片得到了广泛的应用。机械强度对锗衬底抛光片的质量和成品率有着重要的影响,采用化学腐蚀工艺,通过酸碱腐蚀实验的开展以及腐蚀温度、腐蚀液配比的控制,确立了提高锗单晶片机械强度的化学腐蚀工艺,腐蚀后晶片表面均匀,磨削纹路清晰可见,TTV小于3μm,机械强度为31～40N,完全满足应用要求。
- 窦连水刘晓伟
- 关键词：化学腐蚀机械强度
- Ge单晶片的激光标识技术研究被引量：1
- 2009年
- Ge材料具有优良的红外光学性能以及抗辐射性能,在航天领域有着广泛的应用。产品的可追溯性一直是困扰Ge单晶抛光片的技术难题。介绍了激光打标机的工作原理,并采用波长为1064nm的光纤型激光打标机在Ge单晶片上制作标识码。研究了激光功率对打标深度的影响,确定了合适的激光打标功率为激光器总功率的20%～50%,同时,对激光标识码的位置进行了分析,确定了合适的激光打标位置,最终成功地在Ge单晶片表面制作了激光标识码,解决了Ge单晶片的可追溯性问题。
- 杨洪星刘晓伟
- 关键词：锗单晶激光加工
- 激光技术在半导体行业中的应用被引量：7
- 2010年
- 激光技术自诞生以来,受到了广泛地关注,并逐步拓展了其应用领域。对激光技术在晶片/芯片加工领域的应用、激光打标技术、激光测试技术以及激光脉冲退火技术(LSA)进行简要的介绍。
- 杨洪星刘晓伟陈亚楠武永超赵权
- 关键词：激光激光打标
