徐畅
- 作品数:2 被引量:9H指数:2
- 供职机构:北京理工大学光电学院更多>>
- 相关领域:电子电信兵器科学与技术更多>>
- 基于MEMS技术的动态红外场景模拟技术被引量:4
- 2018年
- 基于MEMS可见光/红外转换芯片的动态红外场景生成器,具有波段宽、空间分辨率高、成本低等特点,可应用于半实物(HWIL)仿真系统中作为红外场景模拟器,也可以作为红外成像探测系统的测试设备。通过MEMS工艺在大面积自悬浮薄膜上制作周期性微结构阵列作为像元阵列实现高分辨率。本文研究了转换芯片的工作原理,并制作了像元阵列数大于1 024×1 024,像元尺寸35μm×35μm的转换芯片。利用该转换芯片构建了动态红外场景模拟器,实验结果表明动态红外场景模拟器系统满足空间分辨率大于1 024×1 024,工作波段范围3~5μm和8~12μm,温度范围283 K^500 K,帧频50 Hz,灰度等级256等性能。
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- 关键词:半实物仿真MEMS
- 基于MEMS的红外动态图像生成技术被引量:5
- 2016年
- 提出了一种基于MEMS技术的红外动态图像生成技术。利用热传导方程,建立了可见光,红外图像转换膜的理论模型;介绍了可见光/红外图像转换膜制作的工艺流程,制作了一张像元数为512×512、像元尺寸为35μm的可见光/红外图像转换膜。并利用转换膜构造了红外动态图像生成装置,通过实验对红外动态图像生成装置的性能进行了研究。利用MEMS技术制作的可见光/红外图像转换膜可以工作在红外3~5μm和8—12μm两个波段。根据实验测得红外图像生成装置的空间分辨率为14lp/mm,在3—5μm波段,所生成红外图像的温度范围为250—440K,在8~12μm波段,所生成红外图像的温度范围为250—400K。
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- 关键词:微机电系统仿真