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赵燕立

作品数：1 被引量：34H指数：1
供职机构：厦门大学物理与机电工程学院机电工程系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇压力传感器
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻式
  • 1篇压阻式压力传...
  • 1篇微机电系统
  • 1篇力传感器
  • 1篇可靠性
  • 1篇机电系统
  • 1篇恶劣环境
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇厦门大学

作者

  • 1篇伞海生
  • 1篇余煜玺
  • 1篇王翔
  • 1篇宋子军
  • 1篇赵燕立

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
适用于恶劣环境的MEMS压阻式压力传感器被引量：34
2012年
为了消除潮湿、酸碱、静电颗粒等恶劣环境对压力传感器压敏电阻的影响,提出了一种新型结构的压阻式压力传感器。该传感器将压敏电阻置于应力薄膜的下表面并通过阳极键合技术密封在真空压力腔中,从而减少了外界环境对压敏电阻的影响。介绍了此种压力传感器的工作原理,使用ANSYS软件并结合有限元方法模拟了压敏薄膜在压力作用下的应力分布情况。最后,利用微机电系统(MEMS)技术成功制作出了尺寸为1.5mm×1.5mm×500μm的压阻式压力传感器。用压力检测平台对该压力传感器进行了测试,结果表明,在25～125℃,其线性度小于2.73%,灵敏度约为20mV/V-MPa,满足现代工业使用要求。
伞海生宋子军王翔赵燕立余煜玺
关键词：微机电系统压阻式压力传感器恶劣环境可靠性
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