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徐勇
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
山东大学
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发文基金:
山东省火炬计划
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
一般工业技术
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合作作者
李长庆
山东大学信息科学与工程学院
黄少艳
山东大学信息科学与工程学院
裘南畹
山东大学
邢建平
山东大学信息科学与工程学院
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年份
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2007
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2
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ZnO薄膜气敏元件的反应温变和表面反应速率方程
被引量:1
2007年
提出了一种研究气敏元件和材料反应温变的方法和实验装置;给出了反应温变Δtrea随气体浓度C变化的规律;给出了反应放热率Prea与反应温变Δtrea的关系式;得到了表面反应的速率方程一般形式,它包括了目前常用的两种经验公式:双曲线型和幂函数型.
李长庆
邢建平
黄少艳
徐勇
裘南畹
关键词:
ZNO
速率方程
ZnO气敏薄膜的实用化——一种新的气敏基材料
2007年
ZnO薄膜是最早发现有良好气敏特性,并且也是最早(1962)被提出用它来研制气敏元件的金属氧化物气敏基材料;然而近半个世纪以来没有实现。最近通过用粉末溅射解决气敏层的掺杂稳定性;通过选择合适的绝缘衬底(Al_2O_3)和适当选择溅射参数得到掺杂稳定,结构稳定,性能良好的ZnO薄膜酒敏元件。通过对芯片和接线柱的超声双点焊获得超小型悬挂式的气敏元件,并用它做出可检测100ppm和500ppm两种酒气浓度的报警器。
黄少艳
邢建平
李长庆
徐勇
裘南畹
关键词:
ZNO薄膜
粉末溅射
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