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徐勇

作品数:2 被引量:1H指数:1
供职机构:山东大学更多>>
发文基金:山东省火炬计划国家自然科学基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇气敏
  • 2篇ZNO
  • 2篇ZNO薄膜
  • 1篇实用化
  • 1篇速率方程
  • 1篇气敏薄膜
  • 1篇气敏元件
  • 1篇溅射
  • 1篇粉末溅射

机构

  • 2篇山东大学

作者

  • 2篇邢建平
  • 2篇裘南畹
  • 2篇黄少艳
  • 2篇李长庆
  • 2篇徐勇

传媒

  • 1篇传感技术学报
  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 2篇2007
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
ZnO薄膜气敏元件的反应温变和表面反应速率方程被引量:1
2007年
提出了一种研究气敏元件和材料反应温变的方法和实验装置;给出了反应温变Δtrea随气体浓度C变化的规律;给出了反应放热率Prea与反应温变Δtrea的关系式;得到了表面反应的速率方程一般形式,它包括了目前常用的两种经验公式:双曲线型和幂函数型.
李长庆邢建平黄少艳徐勇裘南畹
关键词:ZNO速率方程
ZnO气敏薄膜的实用化——一种新的气敏基材料
2007年
ZnO薄膜是最早发现有良好气敏特性,并且也是最早(1962)被提出用它来研制气敏元件的金属氧化物气敏基材料;然而近半个世纪以来没有实现。最近通过用粉末溅射解决气敏层的掺杂稳定性;通过选择合适的绝缘衬底(Al_2O_3)和适当选择溅射参数得到掺杂稳定,结构稳定,性能良好的ZnO薄膜酒敏元件。通过对芯片和接线柱的超声双点焊获得超小型悬挂式的气敏元件,并用它做出可检测100ppm和500ppm两种酒气浓度的报警器。
黄少艳邢建平李长庆徐勇裘南畹
关键词:ZNO薄膜粉末溅射
共1页<1>
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