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徐德超

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：同济大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇多层膜
  • 1篇应力
  • 1篇应力和
  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇软X射线
  • 1篇热稳定
  • 1篇热稳定性
  • 1篇热稳定性研究
  • 1篇溅射
  • 1篇MO
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇同济大学

作者

  • 1篇张众
  • 1篇王占山
  • 1篇王海霞
  • 1篇连玉红
  • 1篇徐德超
  • 1篇朱杰

传媒

  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
软X射线Mo/B_4C多层膜应力和热稳定性研究被引量：1
2015年
为了实现7nm波段Mo/B4C多层膜反射镜元件的制备,研究了不同退火方式对Mo/B4C多层膜应力和热稳定性的影响。首先,采用直流磁控溅射方法分别基于石英和硅基板制作Mo/B4C多层膜样品,设计周期为3.58nm、周期数为60,Mo膜层厚度与周期的比值为0.4。其次,采用不同的退火方式对所制作的样品进行退火实验,最高退火温度500℃。最后,分别采用X射线掠入射反射、X射线散射和光学干涉仪的方法对退火前后的Mo/B4C多层膜的周期、界面粗糙度和应力进行测试。测试结果表明采用真空退火方式能够有效降低Mo/B4C多层膜的应力,且退火前后Mo/B4C多层膜的周期和界面粗糙度无明显变化,证明Mo/B4C多层膜在500℃以内具有很好的热稳定性。
徐德超王海霞张众朱杰连玉红王占山
关键词：软X射线直流磁控溅射应力热稳定性
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