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潘国华
作品数:
1
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供职机构:
无锡微电子科研中心
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相关领域:
电子电信
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合作作者
蒋茂
无锡微电子科研中心
王铁坤
无锡微电子科研中心
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王铁坤
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潘国华
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蒋茂
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电子与封装
年份
1篇
2007
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洁净厂房正压控制问题讨论
2007年
文章重点探讨了洁净厂房的正压值的控制问题,讨论了正压值与洁净度以及温度湿度之间的关系。根据现有洁净厂房的生产条件,分析了正压值和洁净度以及温湿度不能达标的具体原因。探索了实际生产中正压值控制的方法,并验证了其可行性。
蒋茂
潘国华
王铁坤
关键词:
洁净度
温湿度
正压
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