公共文化服务平台

共 1 条记录，以下是 1-1

全选清除导出

排序方式：

微型可编程光栅最大闪耀角的理论分析与实验被引量：4: 2008年; 在微机电系统技术的基础上,采用两层多晶硅表面微加工工艺,设计并加工制作了一种闪耀角可调式的微型可编程光栅。介绍了微型可编程光栅的基本工作原理及结构设计特点,针对其最主要的一个光学参量——最大闪耀角,根据设计的光栅结构尺寸进行了理论计算,并利用ANSYS有限元仿真结合Matlab软件的数据处理功能进行了数值模拟。设计并搭建了一个简单易操作的光学实验系统,对最大闪耀角进行了实际测量。结果表明,理论计算、数值模拟以及实际测量的最大闪耀角非常吻合,制作的微型可编程光栅的最大闪耀角超过5°。; 虞益挺苑伟政王兰兰乔大勇梁庆; 关键词：微机电系统

全选清除导出

共1页<1>

王兰兰