2024年12月27日
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王曙东
作品数:
24
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供职机构:
西安交通大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
韦学勇
西安交通大学
蒋庄德
西安交通大学
翁寅生
西安交通大学
任娟
西安交通大学
赵玉龙
西安交通大学
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一种基于谐振器同步振荡的频率检测方法及其倾角传感器
一种基于谐振器同步振荡的频率检测方法及其倾角传感器,包括检测元件和同步元件,分别置于第一振荡电路和第二振荡电路中并形成两个自激振荡器,检测元件和同步元件通过平板电容静电耦合,微弱的同步电流得以穿过,影响并降低检测元件振荡...
韦学勇
翁寅生
王曙东
浦东
蒋庄德
一种基于MEMS超谐同步加速度计的频率自动跟踪方法及系统
本发明公开了一种基于MEMS超谐同步加速度计的频率自动跟踪方法及系统,频率计数器间隔一定周期采集频率点数并进行数据处理,去除跳跃点并求取平均值可获得振荡回路1,振荡回路2的频率均值;对频率均值进行频率差值比较;对频率差值...
韦学勇
徐柳
王曙东
蒋庄德
文献传递
一种基于半频静电激振的高频体模态谐振器测试方法
一种基于半频静电激振的高频体模态谐振器测试方法,包括开环测试方法和闭环测试方法,开环测试方法适用于实验室环境中高频体模态谐振器的标定测试;闭环测试方法适用于工业现场中高频体模态谐振器的实际应用;本发明利用半频波静电激振谐...
韦学勇
王曙东
蒋庄德
赵玉龙
一种温度自补偿的面内双轴加速度传感器及温度补偿方法
本发明公开了一种温度自补偿的面内双轴加速度传感器及温度补偿方法,包括质量块,质量块的周围呈中心对称均匀布置有多组谐振敏感元件,当面内任意方向、任意大小的加速度施加于器件时,质量块同时对多组谐振敏感元件施加应力,改变其本征...
韦学勇
王曙东
徐柳
朱威龙
蒋庄德
文献传递
一种基于MEMS超谐同步加速度计的频率自动跟踪方法及系统
本发明公开了一种基于MEMS超谐同步加速度计的频率自动跟踪方法及系统,频率计数器间隔一定周期采集频率点数并进行数据处理,去除跳跃点并求取平均值可获得振荡回路1,振荡回路2的频率均值;对频率均值进行频率差值比较;对频率差值...
韦学勇
徐柳
王曙东
蒋庄德
文献传递
一种可自动除尘的光声光谱式气体传感器
本发明公开了一种可自动除尘的光声光谱式气体传感器,包括顶部封装管壳,顶部封装管壳连接底部封装管壳构成密闭的光声池,光声池内部位于顶部封装管壳的一侧分别设置有集成电路芯片、红外光源和压力传感器,底部封装管壳上开有透气孔,透...
王曙东
李运甲
华梦涵
王博洋
谢骁
一种用于微纳尺度材料的硅基石英MEMS谐振式扭矩传感器
一种用于微纳尺度材料的硅基石英MEMS谐振式扭矩传感器,包括单晶硅基底层,单晶硅基底层上生长二氧化硅绝缘层,二氧化硅绝缘层设有单晶硅结构层,单晶硅结构层包括线型微纳材料夹持机构的键槽,键槽两侧和输出梁、V型致动梁顶端连接...
韦学勇
丁延玉
王曙东
任娟
任子明
蒋庄德
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一种线型微纳材料扭转性能测量用MEMS谐振式扭矩传感器
一种线型微纳材料扭转性能测量用MEMS谐振式扭矩传感器,包括单晶硅基底、二氧化硅绝缘层和单晶硅结构层,单晶硅结构层包括两个“Z”字形微放大梁,其杠杆梁顶部与输入梁连接,杠杆梁底部与输出梁的一端连接,杠杆梁中下部通过支点梁...
韦学勇
王曙东
翁寅生
任娟
蒋庄德
一种芯片级集成的光声光谱气体传感器
本发明公开了一种芯片级集成的光声光谱气体传感器,包括红外发射器和声学传感器,红外发射器和声学传感器设置在存放有待测气体的密闭结构内,密闭结构的顶部一侧阵列设置有用于气体交换的孔,红外发射器能够发出周期变化的红外光波以驱动...
王曙东
李运甲
华梦涵
王博洋
谢骁
一种基于谐振器的刻蚀终点检测系统及方法
一种基于谐振器的刻蚀终点检测系统及方法,包括同时置于刻蚀机的刻蚀腔中的耦合梁式谐振器和温度补偿传感器,耦合梁式谐振器和温度补偿传感器的刻蚀信号数据采集分别通过一个闭环振荡电路完成,两个闭环振荡电路将刻蚀信号数据发送至上位...
韦学勇
任子明
徐柳
王曙东
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