肖志远
- 作品数:1 被引量:0H指数:0
- 供职机构:西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室更多>>
- 发文基金:国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:化学工程更多>>
- CVD法SiC纤维表面碳涂层结构的拉曼光谱研究
- 2012年
- 采用激光拉曼光谱仪和扫描电子显微镜对以C2H2+H2和C2H2+C3H8+Ar为反应气体,通过直流加热化学气相沉积工艺在SiC纤维表面制备的碳涂层的微观结构及断口形貌进行了研究。结果表明,两种碳涂层的拉曼光谱中1 350,1 400~1 500和1 600cm-1附近均观察到D,D"和G特征峰的存在。碳涂层具有类似石墨的片层结构,结构中微晶的排列显示出一定的无序性,并含有少量非晶态碳。随着沉积温度的升高,微晶尺寸有所增加,结构中的均匀性和有序度也得到改善。断口观察发现,采用C2H2+H2制备的碳涂层平整、致密;而由C2H2+C3H8+Ar得到的碳涂层呈曲折的层片状。分析表明,这主要与结构中的有序度和均匀性有关。
- 刘帅杨延清罗贤张荣军赵光明金娜肖志远
- 关键词:化学气相沉积碳涂层拉曼光谱