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蔡伟
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
信息产业部电子第五研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
石高明
工业和信息化部电子第五研究所
邝贤军
信息产业部电子第五研究所
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1篇
2015
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应力诱发的电迁移失效分析
被引量:2
2015年
电迁移是半导体器件常见的失效机理,可以导致金属的桥连或者产生空洞,引起短路或者开路等互连失效。总结了两种典型的电迁移失效模式:热电迁移和电化学迁移,阐述了两种电迁移的失效应力诱发条件,以及失效分析方法。通过失效分析案例研究,加深对两种失效机理的认识并提供电迁移失效分析的基本思路。
陈选龙
石高明
蔡伟
邝贤军
关键词:
集成电路
互连
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