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蔡伟

作品数:1 被引量:2H指数:1
供职机构:信息产业部电子第五研究所更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电路
  • 1篇电迁移
  • 1篇应力诱发
  • 1篇热电
  • 1篇金属化
  • 1篇互连
  • 1篇集成电路

机构

  • 1篇信息产业部电...
  • 1篇工业和信息化...

作者

  • 1篇邝贤军
  • 1篇石高明
  • 1篇蔡伟

传媒

  • 1篇电子产品可靠...

年份

  • 1篇2015
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
应力诱发的电迁移失效分析被引量:2
2015年
电迁移是半导体器件常见的失效机理,可以导致金属的桥连或者产生空洞,引起短路或者开路等互连失效。总结了两种典型的电迁移失效模式:热电迁移和电化学迁移,阐述了两种电迁移的失效应力诱发条件,以及失效分析方法。通过失效分析案例研究,加深对两种失效机理的认识并提供电迁移失效分析的基本思路。
陈选龙石高明蔡伟邝贤军
关键词:集成电路互连
共1页<1>
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