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姚达
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十七研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
宁润涛
中国电子科技集团公司第四十七研...
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阈值电压
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VDMOS
机构
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中国电子科技...
作者
1篇
宁润涛
1篇
姚达
传媒
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微处理机
年份
1篇
2008
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P型200伏VDMOS的设计与工艺
被引量:3
2008年
根据P型VDMOS的特点,对实际的P型VDMOS工艺流程的特殊之处与常规MOS工艺和N型VDMOS工艺进行了对比,提出了较为合理的工艺流程。并利用工艺模拟软件对工艺流程进行了模拟,通过将已知工艺参数与工艺模拟软件结合起来使用,将模拟结果直接导入器件模拟软件,对击穿电压及阈值电压,进行了模拟计算,指出了P型VDMOS工艺流程的特点。
姚达
宁润涛
关键词:
VDMOS
阈值电压
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