耿莉
- 作品数：6 被引量：9H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 125mm低阻硅抛光片清洗技术研究
- 2012年
- 在125 mm(5英寸)硅抛光片清洗过程中,发现硅片边缘容易出现"色斑"现象。对这一现象进行了分析,通过工艺试验,消除了这种现象。
- 耿莉杨洪星
- 关键词：硅清洗技术色斑
- 一种高效的锗单晶抛光片清洗液被引量：6
- 2016年
- 以锗(Ge)单晶片为衬底制备的太阳电池,具有较好的光电转换效率,因而使Ge材料再次受到广泛关注。Ge单晶片表面的均匀性对外延结果有着较大影响,基于改善Ge单晶片表面均匀性的目的,引入一种H2O2,HF和去离子水的混合液作为Ge片的清洗液,以雾值、表面粗糙度和表面颗粒度作为Ge单晶片表面均匀性的评价指标。通过Ge单晶片清洗实验,确定清洗液配比、清洗时间的较优组合。在优化后的清洗条件下,Ge单晶抛光片的雾值为2.33×10-8,表面粗糙度为0.16 nm,Ge单晶片的表面质量满足电池制作的要求。该清洗液清洗效果好,操作简便,是Ge单晶抛光片的一种较理想清洗液。
- 杨洪星陈晨王云彪何远东耿莉
- 关键词：表面粗糙度抛光片
- 超薄锗单晶抛光片质量稳定性研究被引量：5
- 2016年
- P型超薄锗抛光片是制作空间太阳能电池的衬底材料,表面质量状态的稳定性控制对于后续外延及器件质量有着重要的影响。通过分析抛光工艺过程、清洗工艺过程、包装质量对稳定性的影响,首次提出了采用表面微观平坦度和表面雾值来衡量锗抛光片表面质量优劣和稳定性,对于提高锗抛光片加工水平和统一控制标准,具有重要的意义。
- 王云彪杨洪星耿莉郭亚坤
- 关键词：稳定性
- 超薄锗片粘蜡工艺研究
- 2018年
- 超薄锗片是制作多结空间太阳能电池的主要衬底材料,随着空间卫星技术的不断发展,对高质量超薄锗抛光片的需求量正在逐年增加。粘蜡抛光是获得高平整度抛光片的主要手段,也是未来超薄大尺寸锗单晶片加工的必然选择。从涂蜡参数、烘烤条件、翻转吸头和压头参数影响等方面,研究蜡层厚度及均匀性和粘蜡后表面形变问题,通过调整参数,重新设计翻转吸头,确定了适合超薄锗片的粘蜡工艺,获得了高平整度的锗抛光片。
- 王云彪陈雅楠田原耿莉
- 关键词：抛光片
- 清洗工艺对锗外延片表面点状缺陷的影响被引量：3
- 2019年
- 锗外延片表面的雾、水印及点状缺陷等会影响太阳电池的性能和成品率,其中点状缺陷出现的比例最高。研究了锗抛光片清洗工艺对外延片表面点状缺陷的影响,获得了无点状缺陷、低粗糙度及高表面质量的锗单晶片。采用厚度为175μm p型<100>锗单面抛光片进行清洗试验,研究了SC-1溶液的不同清洗时间、清洗温度和去离子水冲洗温度对锗抛光片外延后点状缺陷的影响,分析了表面SiO_2残留和锗片表面粗糙度对外延片表面点状缺陷的影响。结果表明点状缺陷主要是由于锗单晶抛光片表面沾污没有彻底清洗干净以及清洗过程中产生新的缺陷造成的。采用氢氟酸溶液浸泡、SC-1溶液低温短时间清洗结合低温去离子水冲洗后的锗抛光片进行外延,用其制备的太阳电池光电转换效率由原来的25%提高到31%。
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- 关键词：锗粗糙度沾污
- 空间电池用锗抛光片的Marangoni干燥技术被引量：1
- 2018年
- 作为空间化合物太阳电池的主要衬底材料,锗抛光片对表面质量要求较高。锗片干燥阶段,采用清洁、高效的Marangoni干燥技术可避免采用传统甩干技术造成的锗片表面沾污和边缘损伤。然而锗片在Marangoni干燥过程中易产生干燥缺陷。本文分析了干燥过程中缺陷产生的原因,研究了主要影响表面质量的提拉速率和氮气吹扫时间,认为锗片Marangoni干燥应采用较慢的提拉速率和适中的氮气吹扫时间,以减少表面和边缘干燥缺陷的产生。对经过Marangoni干燥的锗片进行表面雾值分析和外延生长验证,锗片经过Marangoni干燥表面未发生变化。实验结果表明,Marangoni干燥技术可用于干燥锗抛光片。
- 田原王云彪龚一夫耿莉
- 关键词：异丙醇
