蔡蕾
- 作品数：2 被引量：4H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团第五十八研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 净化厂房中气相分子沾污(AMC)的来源和危害被引量：2
- 2012年
- 越来越多的研究发现,在半导体圆片加工净化厂房中,除了存在空气悬浮颗粒沾污外,还存在以气相或蒸汽形式存在的分子污染物(Airborne Molecular Contaminants,AMC)。随着特征尺寸(CD)的不断缩小,AMC将会越来越严重地影响圆片加工质量和成品率,并会影响净化厂房内工作人员的身体健康。文章介绍了AMC的分类、来源、危害性、控制标准和方法,希望以此引起人们对AMC的重视,并采取相应的控制措施。
- 潘文伟蔡蕾
- 洁净厂房运行管理中的节能问题被引量：2
- 2005年
- 本文根据运行管理的实践体会,讨论了空调净化厂房运行管理中节能的若干问题。通过空气状态参数分析及其与空调能耗相互关系的探讨,在洁净空调厂房运行中采取了适当的节能措施,以确保在满足工艺生产要求的前提下,将空调能耗水平降到最低。文章最后以数据统计方式,考察了2003 年全年和2004年1月至7月同期的空调能耗状况,阐述了上述诸多节能措施的实际节能效果。
- 华卫群王铁坤蔡蕾
- 关键词：运行管理节能
