刘斌
- 作品数:6 被引量:8H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金:国家科技重大专项更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 准分子激光器中放电冲击波的仿真研究被引量:2
- 2020年
- 分析了准分子激光器放电腔内放电冲击波能量来源的计算方法,利用Fluent软件对放电冲击波物理过程进行了二维仿真,揭示了300μs内横向冲击波和纵向冲击波的演化过程,获得了此过程中气体速度、密度、压力和温度等关键参数的变化规律。对仿真结果进行分析,得出了高重复频率放电腔设计中应注意的关键位置以及处理方法,提出了选取放电腔尺寸和边界等参数时的参考依据。
- 刘斌丁金滨周翊江锐王宇
- 关键词:激光器准分子激光器数值仿真
- 干燥及预钝化装置及方法
- 一种干燥及预钝化装置及方法,其中装置包括气室及分别与气室连接的总控制单元、抽真空单元及钝化气体控制单元,其中:气室用于盛放需要干燥及预钝化的零部件;抽真空单元用于吸入/排出空气,使气室处于真空/常压状态;钝化气体控制单元...
- 郭馨丁金滨刘斌张立佳周翔王宇赵江山
- 门控循环网络辨识准分子激光器能量模型被引量:3
- 2021年
- 准分子激光器的放电过程是一个复杂的非线性过程,从而导致基于放电动力学建立的激光器放电能量模型的精度很难达到仿真研究和控制算法设计的需求。通过深度学习的方法,利用门控循环网络辨识准分子激光器放电能量模型。首先基于准分子激光器出光能量特性,选定所建立的门控循环网络的输入。然后根据门控循环神经网络的输入特性和输出特性建立适用于准分子激光器能量模型辨识的神经网络,并介绍了门控循环神经网络训练方法。最后利用实际采集的激光器的能量数据对门控循环神经网络进行训练。实验结果证明,本文所设计的门控循环神经网络收敛,辨识出来的能量模型的最大误差小于1.5%。该方法可以应用于准分子激光器能量模型的辨识。
- 冯泽斌周翊江锐韩晓泉徐向宇刘斌
- 关键词:激光器准分子激光器模型辨识
- 一种基于微能量采集和节能模式设计的节能方法被引量:1
- 2015年
- 本文以计步器为例,探讨了一种基于微能量采集和节能模式设计的节能方法。一方面要选取合适的低功耗芯片,设置合理的低功耗工作模式;另一方面,采用TI公司的升压转换器芯片BQ25504设计微能量采集方案,通过采集周边环境中被浪费的能量供设备使用,以增强设备的续航能力。通过这两方面的节能设计,使计步器的待机时长超过900小时,其节能技术还可广泛应用于其他可穿戴智能硬件产品。
- 刘斌
- 关键词:计步器
- 高重复频率准分子激光器中放电冲击波特性的实验研究被引量:3
- 2019年
- 采用阴影法对高重复频率准分子激光器放电腔内的放电冲击波现象进行了实验研究,研究结果揭示了放电冲击波的产生以及演化过程。通过对观测结果进行分析,获得了放电冲击波的3种典型形式:横向冲击波、纵向冲击波(主电极冲击波)和预电离冲击波。估算了3种冲击波的波速,进而分析了可会受冲击波影响的重复频率。研究成果可以为高重复频率准分子放电腔的设计提供支持,尤其是可以在放电冲击波抑制结构的设计方面提供支持。
- 刘斌丁金滨王魁波周翊江锐王宇
- 关键词:激光光学准分子激光器高重复频率
- 准分子激光器预电离过程影响分析
- 2023年
- 准分子激光器由于其短波长、高重频、大能量在国民经济生产中具有重要作用.在准分子激光器应用场景及输出特性中,光束质量及能量稳定性是高端准分子光源的指标,而预电离过程发展得充分与否是准分子激光系统能否输出高光束质量、能量稳定的激光脉冲的关键.本文主要针对ArF准分子激光器的预电离过程,建立了一维及二维仿真计算模型,基于Comsol Multiphysics软件的流体计算方法进行数值仿真分析计算,重点研究了预电离过程中电离波的传播过程以及预电离与主放电之间的关系.研究表明,进行准分子激光器进行系统设计时,要综合考虑电晕棒及主电极的空间结构.合适的预电离结构及预电离电压能够使主放电在自由电子维持期间被触发,可以有效降低放电电压,避免流注及弧光放电,提升输出光束质量及系统能量稳定性.
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- 关键词:准分子激光器流体模型预电离电子密度