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周文

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电学性能
  • 1篇脉冲激光
  • 1篇脉冲激光沉积
  • 1篇脉冲激光沉积...
  • 1篇蓝宝
  • 1篇蓝宝石
  • 1篇蓝宝石衬底
  • 1篇PLD
  • 1篇表面形貌
  • 1篇衬底

机构

  • 1篇电子科技大学

作者

  • 1篇李扬权
  • 1篇李理
  • 1篇李言荣
  • 1篇经晶
  • 1篇罗文博
  • 1篇朱俊
  • 1篇周文

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
脉冲激光沉积法制备Pt薄膜的研究
2009年
采用脉冲激光沉积技术在(0001)取向的蓝宝石基片上外延生长了Pt单晶薄膜,研究了沉积温度和激光能量对Pt薄膜的晶体结构,表面形貌及电学性能的影响规律。X射线衍射(XRD)分析结果表明,在沉积温度650℃、激光脉冲频率1Hz和激光能量280mJ的条件下,制备得到的Pt(111)单晶薄膜,其(111)面ω摇摆曲线半高宽(FWHM)仅为0.068°。原子力显微镜(AFM)分析表明外延的Pt薄膜表面具有原子级平整度,其表面均方根粗糙度(RMS)约为1.776nm。四探针电阻测试结果显示薄膜方阻为1.962Ω/□,满足铁电薄膜的制备工艺对Pt底电极的要求。
李理朱俊李扬权经晶周文罗文博李言荣
关键词：电学性能表面形貌蓝宝石衬底
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