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王振瑜
作品数:
6
被引量:1
H指数:1
供职机构:
上海交通大学
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发文基金:
上海市浦江人才计划项目
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
陈文元
上海交通大学
吴校生
上海交通大学
李栋
上海交通大学
崔峰
上海交通大学
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机构
6篇
上海交通大学
作者
6篇
王振瑜
5篇
吴校生
5篇
陈文元
4篇
李栋
1篇
崔峰
年份
2篇
2020
1篇
2018
2篇
2017
1篇
2016
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6
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MEMS振动式微陀螺数字化驱动电路及其振动特性实验研究
随着微机电系统(MEMS)技术的进步,惯性传感器件得到了极大的发展,成为应用最广泛的微机电器件之一。MEMS振动式微陀螺是其中一种主流类型的惯性传感器。这种微陀螺能够测量系统加速度,并进一步计算其速度和位移,实现物体的精...
王振瑜
关键词:
驱动电路
现场可编程门阵列
直接数字合成
自动增益控制
文献传递
金属结构多环振动盘微陀螺及其制备方法
本发明公开一种金属结构多环振动盘微陀螺及其制备方法,所述微陀螺由上到下包括封装盖、金属多环振子、金属电极、基片,所述金属多环振子为振动惯性质量,是被检测的对象,金属多环振子内置于所述封装盖与基片之间形成的真空的、封闭的空...
吴校生
李栋
叔晟竹
王振瑜
陈文元
文献传递
硅上压电薄膜多支撑梁MEMS陀螺及其制备方法
本发明公开一种硅上压电薄膜多支撑梁MEMS陀螺及其制备方法,包括支撑梁、地电极、压电薄膜、上电极、柱惯性质量,所述柱惯性质量位于整个MEMS陀螺的中央,柱惯性质量周边均匀分布支撑梁,柱惯性质量与支撑梁形成固定联结,在支撑...
吴校生
叔晟竹
王振瑜
李栋
陈文元
硅上压电薄膜多支撑梁MEMS陀螺及其制备方法
本发明公开一种硅上压电薄膜多支撑梁MEMS陀螺及其制备方法,包括支撑梁、地电极、压电薄膜、上电极、柱惯性质量,所述柱惯性质量位于整个MEMS陀螺的中央,柱惯性质量周边均匀分布支撑梁,柱惯性质量与支撑梁形成固定联结,在支撑...
吴校生
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王振瑜
李栋
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玻璃毛细管微型PCR系统及其制备方法
本发明公开一种玻璃毛细管微型PCR系统及其制备方法,所述PCR系统包括芯片座、PCR芯片、风扇,其中:PCR芯片由玻璃毛细管、底板组成,玻璃毛细管的内部为PCR反应腔室,在底板的下表面设有加热电极,底板的上表面设有测温电...
吴校生
王振瑜
叔晟竹
崔峰
陈文元
文献传递
金属结构多环振动盘微陀螺及其制备方法
本发明公开一种金属结构多环振动盘微陀螺及其制备方法,所述微陀螺由上到下包括封装盖、金属多环振子、金属电极、基片,所述金属多环振子为振动惯性质量,是被检测的对象,金属多环振子内置于所述封装盖与基片之间形成的真空的、封闭的空...
吴校生
李栋
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