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袁媛

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇质量传感器
  • 1篇声波
  • 1篇物理传感器
  • 1篇感器
  • 1篇FBAR
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇马晋毅
  • 1篇刘荣贵
  • 1篇袁小平
  • 1篇李昕
  • 1篇袁媛
  • 1篇何杰
  • 1篇许昕
  • 1篇毛海燕

传媒

  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
FBAR技术的敏感应用与发展研究
2014年
薄膜声体波谐振器(FBAR)技术以其频率高,品质因数(Q)高,插入损耗低,与半导体集成电路(IC)工艺兼容等优良特性在无线通信领域获得了广泛应用。基于FBAR技术的传感器具有灵敏度高,体积小,线性度好及易于集成等特点,符合目前传感器的微型化、智能化、信息化的主流发展趋势。该文对FBAR传感器的研究现状、发展动向等方面进行了总结并对石英晶体微天平(QCM)、声表面波(SAW)和FBAR这几种声波质量传感器进行了比较。最后对FBAR传感器技术作了简要评述并讨论了FBAR传感器未来的发展趋势。
何杰袁小平刘荣贵许昕李昕袁媛毛海燕马晋毅
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