- 大口径封窗透射波前的检测方法被引量：2
- 2016年
- 封窗经常使用在望远镜和大口径平行光管等光学系统中,置于整个系统最前端,其透射波前误差将影响整个系统的成像质量。检测手段决定加工精度,当封窗口径大于目前商用平面干涉仪的最大口径Φ800mm时,则无法进行全口径检测。针对这一问题,提出了1种新型的封窗全口径透射检验方法,将待测封窗置于由球面干涉仪和大口径、长焦距的标准凹球面镜组成的光路中进行透射检验。利用该检测方法成功检测了一块口径为Φ856mm、厚度为35mm、材料为熔融石英的封窗,检测结果均方根(RMS)值为0.0191λ(λ=632.8nm),满足设计要求。实验结果验证了该检测方法对于大口径封窗透射检验的可行性。
- 刘强徐晨李新南
- 关键词：光学检测
- 基于双平晶互检法的平面绝对检验仿真被引量：2
- 2017年
- 大口径平面光学元件的使用越来越广泛,但它的检测精度受大口径干涉仪参考面的面形误差限制。为了解决此问题,采用双平晶互检法标定干涉仪参考面的绝对面形误差,从而可以消除检测时干涉仪参考面的面形误差的影响。双平晶互检法的优点在于只需要两块平晶,并且测量过程中,不需要反复更换干涉仪的参考面,更适合大口径光学平面的绝对检测。对双平晶互检法检测光学平面的数理模型进行仿真,验证该方法的正确性,并对实验过程中的误差进行仿真分析。研究解决了目前干涉检测精度受限于参考平晶精度的瓶颈问题,同时为未来超大口径(口径大于1 m)平面干涉仪参考平晶误差标定问题提供技术支撑。
- 刘强徐晨李新南
- 关键词：光学检测
