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张丽新
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
邹向光
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中国电子科技集团公司第四十九研...
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2010
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有限元仿真在硅-蓝宝石高温压力传感器双膜片设计上的应用
被引量:2
2010年
本文介绍了在硅-蓝宝石高温压力传感器设计中,运用E型膜片弹性变形原理和传感器压阻效原理,对双E型膜片进行设计,为满足研制实际需求,采用ANSYS M echan ical模块对双膜片力学模型仿真分析,绘出膜片径向应力切向应力的线性分布,合理构建膜片结构的相关参数,将压阻元件布局在应力分布的最佳区域上,研制的传感器满量程输出≥100mV,线性度提高为≤0.01%,传感器精度<0.1%。
谢胜秋
姚东媛
张丽新
邹向光
关键词:
ANSYS
压力传感器
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