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章英

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室更多>>
发文基金：质检公益性行业科研专项项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇对焦
  • 1篇自动对焦
  • 1篇纳米测量机
  • 1篇变速
  • 1篇测量机
  • 1篇大尺度

机构

  • 1篇天津大学

作者

  • 1篇陈津平
  • 1篇胡小唐
  • 1篇郭彤
  • 1篇傅星
  • 1篇李峰
  • 1篇章英

传媒

  • 1篇光电子．激光

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
采用变速白光扫描干涉术测量大尺度台阶结构被引量：4
2012年
针对传统白光扫描干涉术在对一些垂直尺度较大器件的测试中,存在测量时间长、信号利用率低等问题,本文提出了应用于白光扫描干涉测量的变速扫描策略,并开发了基于预定义模式的变速扫描和基于自动对焦模式的变速扫描两种具体的实现方式。本文方法能够控制测量系统仅在有干涉条纹存在的空间区域采集图像,而在其它区域加速运行,从而提高了测试效率。测量过程中,通过编写的测量软件控制纳米测量机(NMM),并利用NMM的高精度定位能力实现变速扫描。实验测试了一个100μm台阶结构,相对传统固定步长扫描法,变速扫描在保持高精度的基础上提高了测量效率。
郭彤章英李峰陈津平傅星胡小唐
关键词：自动对焦
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共1页<1>
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