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王雄文
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
芜湖职业技术学院机械工程系
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相关领域:
理学
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合作作者
胡俊前
芜湖职业技术学院机械工程系
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机构
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芜湖职业技术...
作者
1篇
王雄文
1篇
胡俊前
传媒
1篇
宿州学院学报
年份
1篇
2013
共
1
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溅射功率和氧氩比对TiO_2薄膜亲水性的影响
被引量:1
2013年
用直流磁控溅射制备TiO2薄膜,分析了氧氩比和溅射功率两项制备参数对退火后形成的锐钛矿二氧化钛薄膜亲水性的影响。实验结果表明,适中的氧氩比2∶3和功率126W下制备的薄膜具有很好的亲水性。
胡俊前
王雄文
关键词:
直流磁控溅射
氧空位
亲水性
溅射功率
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