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宋伟东

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供职机构：北京大学更多>>

合作作者

题名
作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇氮化镓
  • 1篇氮化镓薄膜
  • 1篇氮化镓材料
  • 1篇氮化镓器件
  • 1篇电子碰撞
  • 1篇掺杂

机构

  • 1篇北京大学

作者

  • 1篇李磊
  • 1篇秦国刚
  • 1篇徐万劲
  • 1篇侯瑞祥
  • 1篇李述体
  • 1篇宋伟东

年份

  • 1篇2017
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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一种在室温环境下向氮化镓中引入杂质的方法
本发明公布了一种在室温环境下向氮化镓材料引入杂质的方法，将待掺杂的氮化镓材料或器件和固态杂质源都置于利用射频在惰性气体中产生的等离子体中，使固态杂质源的原子和/或离子进入等离子体，杂质原子和/或离子与等离子体中正离子和电...
秦国刚侯瑞祥李述体李磊徐万劲谢兮兮宋伟东肖稼凯
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