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李冬玲

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室更多>>
相关领域：文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇文化科学

主题

  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇高校
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇重庆大学

作者

  • 1篇贺学锋
  • 1篇尚正国
  • 1篇王胜强
  • 1篇李冬玲

传媒

  • 1篇实验技术与管...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
高校微机电系统加工实验室的管理与运行被引量：2
2010年
微加工超净实验室是微机电系统（micro-electro-mechanical systems,MEMS）研究的基础条件。超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应的纯水、高纯气体、空气净化及空调等辅助系统,其管理显得十分重要。结合重庆大学微机电系统加工实验室,对其现场管理、保障系统运行和设备管理、节能和高效利用、设计和技术管理等进行了简单介绍,同时对MEMS微加工工艺开发与技术管理进行了初步探索。
王胜强李冬玲尚正国贺学锋
关键词：微电子机械系统
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