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一种矿用MEMS风速计电绝缘自清洁封装方法: 本发明涉及矿用MEMS风速计，具体是一种矿用MEMS风速计电绝缘自清洁封装方法。一种矿用MEMS风速计电绝缘自清洁封装方法，包括以下步骤：（a）Parylene薄膜淀积：在矢量风速计外表面上采用CVD方法淀积2微米厚的P...; 王任鑫张国军任子明白冰贾传令薛晨阳; 文献传递

基于碳化硅材料的电容式高温压力传感器的研究被引量：2: 2021年; 针对现有的硅基高温压力传感器不满足更高温度环境(≥500℃)下测试需求的问题,设计并制备了一种基于碳化硅(SiC)材料的电容式高温压力传感器。利用ICP刻蚀工艺和直接键合工艺实现了气密性良好的敏感绝压腔结构,结合金属沉积、金属图形化等MEMS工艺制备了感压敏感芯片。搭建了压力-温度复合测试平台,完成了传感器在0~600℃环境下压力-电容响应特性的测试。测试结果表明,在0~300 kPa内,该传感器灵敏度为4.51×10-3 pF/kPa,非线性误差为2.83%;同时测试结果也表明该传感器的温度漂移效应较低,0~600℃环境下电容变化量为8.50~8.65 pF。; 梁庭贾传令李强王心心李永伟雷程; 关键词：微机电系统碳化硅直接键合

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贾传令