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杨再华
作品数:
1
被引量:16
H指数:1
供职机构:
北京卫星环境工程研究所
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发文基金:
国家重大科学仪器设备开发专项
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
机械工程
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合作作者
郑博文
北京工业大学
孙衍强
北京工业大学
陈洪芳
北京工业大学
隆昌宇
北京卫星环境工程研究所
石照耀
北京工业大学
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作者
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石照耀
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郑博文
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杨再华
传媒
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中国激光
年份
1篇
2017
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基于激光追踪仪多站位测量的CMM空域坐标修正方法
被引量:16
2017年
三坐标测量机(CMM)是坐标测量技术中高效率的精密测量系统,随着超精密加工技术的发展,对三坐标测量机测量精度的要求越来越高。考虑到三坐标测量机在测量过程中的弱刚体性状态,提出了一种基于激光追踪仪多站位测量的三坐标测量机空域坐标修正方法。首先建立激光追踪仪多站位测量系统,然后利用激光追踪仪的高精度干涉测长值对被测空域内的三坐标测量机待测点坐标进行修正,最后利用三线性插值方法对三坐标测量机的被测空域坐标进行修正。仿真实验结果表明利用所提出的空域坐标修正方法得到的标准球直径标准差均值为0.098μm,小于三坐标测量机直接测量得到的标准差均值0.118μm,验证了所提出的方法可以有效提高三坐标测量机空域坐标精度。
陈洪芳
郑博文
石照耀
孙衍强
隆昌宇
杨再华
关键词:
三坐标测量机
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