您的位置： 专家智库 > >

杨艳

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：大连水产学院生命科学与技术学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇正反馈
  • 1篇射频等离子体

机构

  • 1篇大连理工大学
  • 1篇辽宁师范大学
  • 1篇大连水产学院

作者

  • 1篇刘成森
  • 1篇丁振峰
  • 1篇霍伟刚
  • 1篇杨艳

传媒

  • 1篇辽宁师范大学...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
射频感应耦合等离子体调谐基片自偏压特性的进一步研究
2008年
在已有的调谐基片自偏压研究的基础上,进一步研究了基片台空间轴向位置对基片自偏压-调谐电容曲线的影响;研究了基片分支串联电阻对基片自偏压的影响,发现了在电阻值区自偏压自振荡现象;在不同的放电参数下,采用自制诊断工具测量了射频感应耦合等离子体电子温度、电子密度等参量的空间分布.并对基片自偏压相应的实验现象给出了物理模型解释.
霍伟刚杨艳刘成森丁振峰
关键词：射频等离子体正反馈
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0