您的位置: 专家智库 > 作者详情>刘杰

刘杰

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇内应力
  • 1篇微悬臂梁
  • 1篇埋氧层
  • 1篇仿真
  • 1篇ANSYS仿...
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇褚家如
  • 1篇赵钢
  • 1篇仲仁
  • 1篇刘光丽
  • 1篇刘杰
  • 1篇陈建锋

传媒

  • 1篇新技术新工艺

年份

  • 1篇2016
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
埋氧层内应力对微悬臂梁加工断裂的影响机理研究
2016年
研究了在Smart-cut方法下制作的SOI硅片中热应力产生的来源,以及热应力的分布、数值和范围。对微悬臂梁制作过程的几个阶段进行了建模,通过仿真,探讨了不同热应力对微悬臂梁制作过程产生的影响,并在ANSYS软件中对优化的加工工艺可行性的仿真和制作时断裂现象进行了验证。研究了SOI中埋氧层内应力影响微纳加工工艺的机理,特别针对内应力使微悬臂梁制备产率下降的副作用进行了分析。研究结果在基于SOI制造的微传感器领域中具有重要的作用。
仲仁赵钢陈建锋刘光丽刘杰褚家如
关键词:MEMS微悬臂梁ANSYS仿真
共1页<1>
聚类工具0