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刘杰
刘杰
作品数:
1
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供职机构:
中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
陈建锋
中国科学技术大学工程科学学院精...
刘光丽
中国科学技术大学工程科学学院精...
仲仁
中国科学技术大学工程科学学院精...
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中国科学技术大学工程科学学院精...
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埋氧层内应力对微悬臂梁加工断裂的影响机理研究
2016年
研究了在Smart-cut方法下制作的SOI硅片中热应力产生的来源,以及热应力的分布、数值和范围。对微悬臂梁制作过程的几个阶段进行了建模,通过仿真,探讨了不同热应力对微悬臂梁制作过程产生的影响,并在ANSYS软件中对优化的加工工艺可行性的仿真和制作时断裂现象进行了验证。研究了SOI中埋氧层内应力影响微纳加工工艺的机理,特别针对内应力使微悬臂梁制备产率下降的副作用进行了分析。研究结果在基于SOI制造的微传感器领域中具有重要的作用。
仲仁
赵钢
陈建锋
刘光丽
刘杰
褚家如
关键词:
MEMS
微悬臂梁
ANSYS仿真
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