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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇退火
  • 1篇结构特性
  • 1篇溅射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇河北师范大学
  • 1篇河北民族师范...

作者

  • 1篇岂云开
  • 1篇顾建军
  • 1篇李志文
  • 1篇杨淑敏
  • 1篇孙会元
  • 1篇王振文

传媒

  • 1篇河北科技大学...

年份

  • 1篇2011
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
Al掺杂ZnO薄膜的结构研究被引量:4
2011年
采用直流反应磁控溅射方法,在玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO薄膜。系统研究了不同氩氧体积比、不同退火温度和氛围、不同Al掺杂浓度对薄膜结构的影响。结果显示,Al掺杂ZnO薄膜为多晶薄膜,呈六角纤锌矿结构,制备条件和后期处理以及掺杂浓度对薄膜的微结构有着很大的影响。在氩氧体积比6∶1条件下制备的薄膜,经真空500℃退火后具有较好的结晶和明显的(002)择优取向。
岂云开顾建军李志文杨淑敏王振文孙会元
关键词:ZNO薄膜结构特性磁控溅射退火
共1页<1>
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