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王振文
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
河北民族师范学院
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发文基金:
河北省自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
孙会元
河北省新型薄膜材料重点实验室河...
杨淑敏
河北民族师范学院
李志文
河北民族师范学院
顾建军
河北省新型薄膜材料重点实验室河...
岂云开
河北省新型薄膜材料重点实验室河...
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王振文
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河北科技大学...
年份
1篇
2011
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Al掺杂ZnO薄膜的结构研究
被引量:4
2011年
采用直流反应磁控溅射方法,在玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO薄膜。系统研究了不同氩氧体积比、不同退火温度和氛围、不同Al掺杂浓度对薄膜结构的影响。结果显示,Al掺杂ZnO薄膜为多晶薄膜,呈六角纤锌矿结构,制备条件和后期处理以及掺杂浓度对薄膜的微结构有着很大的影响。在氩氧体积比6∶1条件下制备的薄膜,经真空500℃退火后具有较好的结晶和明显的(002)择优取向。
岂云开
顾建军
李志文
杨淑敏
王振文
孙会元
关键词:
ZNO薄膜
结构特性
磁控溅射
退火
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