原子力显微镜(Atomic force microscopy,AFM)是用来获得样品表面微观信息的重要工具,在液相下振动模式中(Dynamic mode)悬臂振动参数如品质因子Q、振动频谱响应等对能否稳定成像及精确测量起着关键性作用。目前最普遍的驱动方式是声学振动-用压电陶瓷来间接驱动悬臂振动,然而此方法固定悬臂的液体槽和水溶液的耦合作用会产生杂峰,从而影响悬臂正常工作,降低成像品质。因此研究者们发展了各种不同的方法来直接对悬臂进行驱动。本文综合现有的利用声学、磁力、光热和静电力等不同的微悬臂驱动方法,分析、比较这几种方法所产生的振幅和相位响应及应用于振动模式AFM中的优劣,可为研制更高分辨率的AFM提供参考。
